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如何将干涉仪测量的数据输入OpticStudio

如何将干涉仪测量的数据输入OpticStudio

Jul 06, 2018
本案例我们以ZYGO干涉仪提供的数据为例,ZYGO干涉仪生成的数据文件格式为.ZXGRD文件,我们需要在OpticStudio中将该文件格式转换为.DAT文件。
我们以ZYGO干涉仪提供的数据为例,ZYGO干涉仪生成的数据文件格式为.ZXGRD文件,我们需要在OpticStudio中将该文件格式转换为.DAT文件,并将该文件保存在Zemax根目录下的“DocumentZemax/ObjectsGrid Files”下。
数据文件开头的截图显示,该数据格式与上周文章中提到的Grid Sag数据格式相同。XY方向的数据点数为732个,由于数据点之间的距离为0.01344,因此该数据文件的直径为9.72mm。其中文件第一行有一个终止标志(flag),为0,代表数据单位为mm。

需要注意的是,如果测量数据存储为波前数据,我们需要将此数据文件视为相位数据。OpticStudio的Grid Sag是以弧度为单位的。因此,需要对测量数据进行转换,转换公式如下:
Zemax单位(弧度)= ZYGO测量单位(毫米)x 2
本例提供的数据文件中,测量的波长为632.8nm,则:
Zemax 单位(弧度)= ZYGO 测量单位(毫米)x 2 PI / 0.0006328 = 9924 x(ZYGO 测量单位)

在光圈镜头编辑器(STO)中将相位面类型设置为网格,并在表面属性-导入选项卡中将之前保存的数据文件导入,本例中为测试.DAT文件,如下图所示。
同时,将网格相位的衍射级数按照上面计算出的单位换算值输入:
点击ok后看到如下干涉图结果,与干涉仪上的数据一致。
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